近日，全球領先的半導體設備制造商Lam Research泛林集團，正式揭曉了其創新研發的Dextro協作機器人。這款機器人專為半導體制造設備的維護工作設計，并已成功應用于全球多家頂尖晶圓廠。

Dextro是一款搭載于推車上的移動機械臂系統，由專業的技術人員或工程師操作。它配備了多種“手部工具”，能夠高效地完成三項關鍵的設備維護任務。相比人工操作，Dextro在安裝和壓縮易損件時的精度提升了一倍；在擰緊高精度真空密封螺栓時，能夠避免人類員工因重復性任務而產生的5%錯誤率；同時，它還能在不拆卸下腔室的情況下，自動清除腔室側壁上的聚合物堆積，這一任務以往需要工作人員佩戴重型呼吸防護設備才能完成。

Dextro的引入，意味著晶圓廠工程師可以擺脫那些耗時、易出錯或危險的維護工作，從而提升整體工藝的精確度，減少勞動力需求，降低材料浪費，縮短停機時間，最終提高晶圓廠的產量。

據悉，單個Dextro協作機器人能夠為50至100個泛林工具腔室提供服務，目前它已支持泛林旗下的Flex G / H系列介電刻蝕工具，并計劃從2025年開始擴展到其他工具和應用。

三星電子副總裁兼內存蝕刻技術團隊負責人Kim Young Ju對此表示：“在制造設備需要維護時，快速高效地完成工作是至關重要的，以避免延長工具停機時間和增加成本。Dextro的無差錯維護能力，有助于提升生產的可變性和產量，這是三星向自主工廠邁進的一個重要里程碑。”

Dextro的推出，無疑為半導體制造業帶來了一股新的技術革新潮流。它不僅提升了設備維護的效率和精度，還為晶圓廠的生產效率和產量提升提供了新的可能。